校准三座标测量议-激光干涉仪 jiguang gansheyi laser interferometer

jiguang gansheyi激光干涉仪laser interferometer

以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970 年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态（温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59％、C O2 含量0.03％）下的测量精确度很高，可达1×10(。单频激光干涉仪 [单频激光干涉仪的工作原理]单频激光干涉仪的工作原理为单频激光干涉仪的工作原理。从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]356-11式中为激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。 双频激光干涉仪 [双频激光干涉仪的工作原理]双频激光干涉仪的工作原理为双频激光干涉仪的工作原理。在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为1-2的参考光束另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为仅含有1的光束,另一路成为仅含有2的光束。当可动反射镜移动时,含有2的光束经可动反射镜反射后成为含有2 ±Δ的光束，Δ是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有1的光的光束经偏振片 2后会合成为1-(2±Δ）的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含有±Δ的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算（乘 1/2激光波长）后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于1和2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。

下载用户手册 http://www.feanor.com/LP30_manual.pdf

激光干涉仪

激光干涉仪是以 激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态（温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59％、C O2 含量0.03％）下的测量精确度很高，可达1×10。 如需了解相关产品请见：http://www.feanor.com/

单频激光干涉仪 从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356- 11]式中λ为 激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。 双频激光干涉仪 在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应, 激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为 f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为仅含有f1的光束,另一路成为仅含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf）的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算（乘 1/2激光波长）后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量

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FEANOR 芬诺® - 刀具及测量仪研究发展有限公司

LP 30 高性能激光干涉仪 (Laser interferometer)
FEANOR LP 30 Compact是全球最畅销的用于长度计量的激光干涉仪,其最大的优点是所有测量功能均采用激光干涉原理,性能稳定,使用可靠,功能扩展性强,价格适中.LP 30 高性能激光干涉仪是机床、三坐标测量机 (CMM) 及其它定位装置精度校准用的高性能仪器。由于采用了独特的专利设计及最新的光电子技术，使LP 30 激光干涉仪比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更先进的任选功能。除了测量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括动态测量、旋转轴测量、双轴测量和电子水平仪及千分表程序接口模块。该激光干涉仪系统由激光头LP 30 Compact、环境监测补偿器，计算机接口卡及高精度的光学器件组成。全部器件放在一个配小车的提箱内，一人便可携带全部系统赴异地进行机器精度检定，大大改善了激光干涉仪的便携性。该 激光干涉仪系统通过接口与IBM 兼容的PC 机连接，在灵活、直观的软件控制下进行自动测量，既节省了测量时间，又避免了人为误差，并能按国际上通行的标准进行数据分析处理，如 PN - 93 M55580, ISO/DIS 230, PN - 93 M55580 , ISO 230-2 , NMTBA , VDI/DGQ 3441，BSI BS 4656 Part 16，ISO230-2，等并适用中国国家标准GB17421-2000等，以便于按不同标准进行机床精度的评定和比较。
在第三届国际金属加工刀具应用技术论坛, 展位号 7D－48, 2008年3月27-31日. 欢迎光临！

芬诺激光干涉仪系统 LP-30

现代工业需要满足日益严格的公差以及国际质量标准的要求，因此生产设备的工作性能受到前所未有的重视.

为满足这一需求，芬诺研究发展公司推出了可以评估、监控并改善机器性能的两激光干涉测量系统，从而提高了生产力，缩短了停机时间，并使废品率降至最低.

LP 30 激光干涉仪代表机床及坐标测量机 (CMM) 校准之最高水准。本系统可保持 1,5 µm/m 的线性测量精度，具有对国际标准的全面溯源性以及其他同类系统无法比拟的性能。
如果您购买了芬诺激光干涉仪系统，意味着您不仅拥有当今业界精度最高、最具灵活性的系统，而且还

将得到芬诺全球服务支持网络
一个对机器计量、机器服务以及在生产环境中如何保持机器精度具有深切理解的网络，所提供的完美服务.
LP 30 激光干涉仪头采用复杂的电子线路，用于稳频、细分和干涉条纹计数。它能够在高达 1 m/s 的进给速度下提供真正的纳米分辨率测量.
激光干涉仪头组件包括：激光干涉仪头、电力电缆、数据通信电缆、校准证书LP 30 激光干涉仪可对机床、坐标测量机及其他位置精度至关重要的系统进行全面精度评估。它能通过有针对性的维护改善机器性能，并能利用误差补偿修正线性定位误差.

激光系统新增的其他功能：
在整个环境范围中保持1,5 µm/m 的线性测量精度；芬诺 独有的激光干涉仪准直辅助镜使安装简单易行（激光干涉仪准直辅助镜）； 软件可用于数据采集及数据分析；自动误差补偿软件包.
LP 30 激光测量系统所有功能都设计与软件配合使用。除了测量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括动态测量、旋转轴测量、双轴测量和电子水平仪及千分表程序接口模块。
该激光干涉仪系统由激光头LP 30、环境监测补偿器，计算机接口卡 及高精度的光学器件组成。全部器件放在一个配小车的提箱内，一人便可携带全部系统赴异地进行机器精度检定，大大改善了激光干涉仪的便携性。

该激光干涉仪系统通过接口与Notebook 机（包括笔记本计算机）连接，在灵活、直观的软件控制下进行自动测量，既节省了测量时间，又避免了人为误差，并能按国际上通行的标准进行数据分析处理，如PN - 93, M55580, ISO/DIS 230, PN - 93 M55580 , ISO 230-2 , NMTBA , VDI/DGQ 3441, BSI BS 4656 Part 16，以便于按不同标准进行机床精度的评定和比较。

被测量的参数 -- 线性测量范围 -- 线性测量分辨率 -- 准确率
长度的尺寸 0 - 30 m -- 0.001 µm +/- 0.02 ppm
角度的尺寸 0 - 3600 arcsec -- 0.6 arcsec -- ± 0.2 %
线性的尺寸 0 - 3 m -- 0.1 µm -- ± 1 %
表面的尺寸 0 - 3 m -- 0.15 µm m/100mm -- ± 0. 5 %